LED外延片PL谱扫描成像仪/PL Mapping/PL谱仪
功能介绍
1. 检测外延片PL（光致发光）光谱和白光反射光谱 。
2. 通过外延片PL光谱测量外延片逐点的：峰值波长（WLP） 、主波长（WLD） 、光谱半宽（HW）、积分光强（INT）、峰强度（PI）。
3. 通过白光反射光谱测量外延片逐点的 ：薄膜厚度（Thickness）和反射率（PR）。
4. 显示及输出各被测量参数的均值（Mean）、均方差（Std） 、标准差率（CV）等统计结果 ，并以图形形式显示各项参数的Mapping分布 。
5. 其他选配功能：
· 可选配多个激光器，最多可配4个激光器 。
· 可配置测量各波长段（UV-VIS-NIR）DBR（分布布拉格反射）数据。
· 可配置外延片翘曲度测量功能。
· 可配置激光打标机。
· 可配置光功率传感器 。（对应Photo Detector）
设备机型
IM-1130（移动机柜手动型PL谱仪）：IM-1130型PL谱仪采用可移动机柜形式，方便操作，标准机型可测量2、4、6寸片，其中2寸片可一次测量4片，根据客户需要可配置一次测量9个2寸片的载物台。
IM-2040（倾斜料仓2、4寸自动型PL谱仪）：IM-2000全自动型PL谱仪是针对2 、4寸片专门设计的自动机型 。该型号设备使用标准cassette料盒为载具 ，一次最多可放置3个料盒，共75片外延片。
IM-3000（双臂机械手型PL谱仪）IM-3000双臂机械手型PL谱选用柱坐标机械手自动取放片，自动正片，使用标准cassette料盒为载具，共设有3个工位，一次最多可测75只外延片 。